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熱式質量流量計由傳感器和信號分析、處理與控制單元兩部分構成。傳感器一部分測量溫度,而另一部分用于加熱。前者監控實際過程溫度值;后者維持一恒定溫度值,使其總是高于實際過程溫度且與該過程溫度保持恒定的溫度差。氣體的質量流量越大,冷卻效應就越大,維持差分溫度所需的能量也就越大。因此,通過測量加熱器的能量便可得出被測氣體的質量流量。
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